超精密加工・光学計測技術による省エネルギーデバイスと機械要素部品の加工技術・製造プロセスの確立を目指して，最先端の加工・計測技術に挑戦
Member 所属教員
The Main Research Topics 主な研究テーマ
超精密加工技術に関する研究: 省エネルギーデバイス用材料のCMP(Chemical Mechanical Polishing)，機械要素部品の超精密加工と性能評価試験
超精密計測技術に関する研究: 光学計測, 三次元計測技術
独創的加工技術・加工機器・測定技術の研究開発: レジスト薄膜の均一塗布技術,フェムト秒レーザを用いた表面励起加工等
加工・計測技術の医療応用