プラズマ工学研究室

プラズマは、半導体製造をはじめとする先端ものづくりから環境・農業分野まで幅広く活用される重要な基幹技術です。本研究グループでは、プラズマ工学を基盤として、プラズマと材料の相互作用を理解し、次世代のプラズマプロセスを創出する研究に取り組んでいます。
テーマの1つ目は半導体プラズマプロセスです。AIチップなど先端デバイスの製造を支えるプラズマプロセスの高度化を目指し、プラズマ計測・材料解析・数値シミュレーションを組み合わせた研究を進めています。さらに、プラズマ物理と材料科学の知見を組み込んだAIモデルを構築し、プラズマ現象の理解とプロセス設計の高度化にも挑戦しています。
2つ目のテーマはプラズマ農業です。プラズマを利用した新しい農業技術の研究にも取り組んでいます。プラズマを種子に照射することで発芽や成長を促進し、作物の収穫量向上を目指す研究を進めています。さらに、プラズマによって生成される活性窒素種を利用し、植物に必要な窒素成分を供給する新しい肥料技術の可能性についても研究しています。
基礎科学から社会応用まで広がる研究を通して、未来のものづくりと社会課題の解決に貢献することを目指しています。